47 Введение Принцип растровой электронной микроскопии (РЭМ) заключается в сканировании участка исследуемого образца узко сфокусированным электронным зондом и детектировании возникающих при этом сигналов. Изображение строится синхронно с разверткой зонда на образце таким образом, что каждому положению пучка на поверхности образца соответствует точка (пиксель) на мониторе микроскопа. При взаимодействии электронов пучка с образцом происходит ряд явлений: эмиссия вторичных, отраженных и Оже электронов, рентгеновское излучение, генерация электронно-дырочных пар и др.
Глава I. Теоретические основы растровой электронной микроскопии 1.1 Устройство и принцип работы РЭМ ……………………………………...5 1.2 Термоэлектронная эмиссия………………………………..……………….6 1.3 Автоэлектронная эмиссия……………………………………….…………8 1.4 Принцип работы электронных линз……………………………...………10 1.5 Взаимодействие электронного пучка с образцом……………….………11 1.6 Вторичные электроны……………………………………………………..13 1.7 Отраженные электроны……………………………………………….…..14 1.8 Детектор вторичных электронов…………………………………………15 1.9 Детектор отраженных электронов…………………………………….…16 Глава 2. Микроскоп растровый электронный малогабаритный 09ИОЭ 200-004 2.1 Устройство и порядок работы……………………………………………20 2.2 Назначение……………………………………………………………..…..21 2.3 Устройство и работа изделия……………………………………………..21 2.4 Приставки к микроскопу, расширяющие его возможности………..…..27 2.5 Порядок включения и работы. Подготовка к работе……………………28 2.6 Смена образца……………………………………………………………...34 2.7 Фотографирование с монитора микроскопа на цифровой фотоаппарат35 2.8 Выключение прибора...................................................................................36 Глава III. Эксперимент. Обсуждение результатов 3.1 Изготовление приставки для непосредственного наблюдения за процессом сканирования……………………………………………….……..37 3.2 Наблюдение за процессом сканирования…………………………….….45 Выводы…………………………………………………………………………47